位移檢測(cè)的傳感器次要有脈沖編碼器、直線(xiàn)光柵、旋轉(zhuǎn)變壓器、感應(yīng)同步器等。
 

一、脈沖編碼器的運(yùn)用

脈沖編碼器是一種角位移（轉(zhuǎn)速）傳感器，它可以把機(jī)械轉(zhuǎn)角變成電脈沖。脈沖編碼器可分為光電式、接觸式和電磁式三種，其中，光電式運(yùn)用比擬多。

X軸和Z軸端局部別配有光電編碼器，用于角位移測(cè)量和數(shù)字測(cè)速，角位移經(jīng)過(guò)絲杠螺距能直接反映拖板或刀架的直線(xiàn)位移。
 

二、直線(xiàn)光柵的運(yùn)用

直線(xiàn)光柵是運(yùn)用光的透射和反射景象制造而成，常用于位移測(cè)量，分辨力較高，測(cè)量精度比光電編碼器高，順應(yīng)于靜態(tài)測(cè)量。在進(jìn)給驅(qū)動(dòng)中，光柵尺固定在床身上，其發(fā)作的脈沖信號(hào)直接反映了拖板的實(shí)際地位。用光柵檢測(cè)義務(wù)臺(tái)地位的伺服零碎是全閉環(huán)控制零碎。
 

三、旋轉(zhuǎn)變壓器的運(yùn)用

旋轉(zhuǎn)變壓器是一種輸入電壓與角位移量成延續(xù)函數(shù)關(guān)系的感應(yīng)式微電機(jī)。旋轉(zhuǎn)變壓器由定子和轉(zhuǎn)子組成，詳細(xì)來(lái)說(shuō)，它由一個(gè)死心、兩個(gè)定子繞組和兩個(gè)轉(zhuǎn)子繞組組成，其原、副繞組區(qū)分放置在定子、轉(zhuǎn)子上，原、副繞組之間的電磁耦合水平與轉(zhuǎn)子的轉(zhuǎn)角有關(guān)。
 

四、感應(yīng)同步器的運(yùn)用

感應(yīng)同步器是運(yùn)用兩個(gè)立體形繞組的互感隨地位不同而變化的原理制成的。其功用是將角度或直線(xiàn)位移轉(zhuǎn)變成感應(yīng)電動(dòng)勢(shì)的相位或幅值，可用來(lái)測(cè)量直線(xiàn)或轉(zhuǎn)角位移。按其構(gòu)造可分為直線(xiàn)式和旋轉(zhuǎn)式兩種。直線(xiàn)式感應(yīng)同步器由定尺和滑尺兩局部組成，定尺裝置在機(jī)床床身上，滑尺裝置于挪動(dòng)部件上，隨義務(wù)臺(tái)一同挪動(dòng)；旋轉(zhuǎn)式感應(yīng)同步器定子為固定的圓盤(pán)，轉(zhuǎn)子為轉(zhuǎn)動(dòng)的圓盤(pán)。感應(yīng)同步用具有較高的精度與分辨力、抗干擾才干強(qiáng)、運(yùn)用壽命長(zhǎng)、維護(hù)復(fù)雜、長(zhǎng)間隔位移測(cè)量、工藝性好、本錢(qián)較初等優(yōu)點(diǎn)。直線(xiàn)式感應(yīng)同步器目前被普遍地運(yùn)用于大位移靜態(tài)與靜態(tài)測(cè)量中，例如用于三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)、程控精工機(jī)床、高精度重型機(jī)床及加工中心測(cè)量安裝等。旋轉(zhuǎn)式感應(yīng)同步器則被普遍地用于機(jī)床和儀器的轉(zhuǎn)臺(tái)以及各種回轉(zhuǎn)伺服控制零碎中。